盡管高性能光譜儀具有很高的精度，但是由于許多因素的影響，仍然存在一定的誤差，那么如何才能巧妙地避免光譜儀的誤差呢？

　　1、系統(tǒng)誤差的來源

　　（1）當標準樣品和樣品的含量和化學(xué)組成不*相同時，可能會導(dǎo)致矩陣線和分析線的強度發(fā)生變化，從而引入錯誤。

　　（2）當標準樣品的物理性質(zhì)和樣品的物理性質(zhì)不*相同時，激發(fā)的特征譜線將不同，這將導(dǎo)致系統(tǒng)誤差。

　　（3）當處于澆鑄狀態(tài)的鋼樣品的金屬結(jié)構(gòu)與處于退火，淬火，回火，熱軋和鍛造狀態(tài)的鋼樣品的金屬結(jié)構(gòu)不同時，測得的數(shù)據(jù)將有所不同。

　　（4）未知元素光譜的重疊干擾。例如，在熔煉過程中添加脫氧劑和脫硫劑時，未知的合金元素會混入系統(tǒng)中，從而導(dǎo)致系統(tǒng)誤差。

　　（5）為了消除系統(tǒng)誤差，有必要嚴格遵守標準樣品制備的要求。為了檢查系統(tǒng)錯誤，有必要使用化學(xué)分析方法來分析多次校對的結(jié)果。
 

　　2、偶然誤差的來源

　　與樣品成分不均勻有關(guān)的誤差。由于高性能光譜儀光電光譜分析消耗的樣品很少，因此樣品中元素分布的不均勻性和組織結(jié)構(gòu)的不均勻性會導(dǎo)致不同部位的分析結(jié)果不同，并偶爾出現(xiàn)誤差。

　　（1）在熔煉過程中引入夾雜物，導(dǎo)致偏析導(dǎo)致樣品中元素分布不均。

　　（2）樣品的缺陷，氣孔，裂縫，水泡等。

　　（3）諸如交叉研磨模式，樣品研磨的過熱，樣品研磨表面的時間過長以及指紋等因素。

　　（4）為了減少意外誤差，必須仔細取樣以消除樣品的不均勻性和樣品的鑄件缺陷。也可以重復(fù)分析幾次以減少分析誤差。

　　3、其他因素的誤差

　　（1）氬氣不純。當氬氣中含有氧氣和水蒸氣時，激發(fā)點會變差。如果氬氣管和電極架中有無法排出的污染物，則分析結(jié)果會更糟。

　　（2）高性能光譜儀的室內(nèi)溫度升高將增加光電倍增管的暗電流，并降低信噪比。高濕度很容易引起高壓組件的泄漏和放電，從而使分析結(jié)果不穩(wěn)定。